Pompy kriogeniczne są wykonane zgodnie z zasadą kondensacji gazu, adsorpcji kriogenicznej, zatrzymywania kriogenicznego lub odsysania w celu uzyskania próżni.
1. Zgodnie z ciśnieniem roboczym pompy można ją podzielić na pompę kriogeniczną dla ciągłego zakresu przepływu, pompę kriogeniczną dla zakresu przepływu molekularnego, zwykle pompę kondensatu oraz etap adsorpcji lub etap wychwytywania kriogenicznego.
2. Zgodnie z metodą chłodzenia można ją podzielić na kriopompę zbiornika magazynowego, kriopompę wyparną i kriopompę chłodniczą. Wśród nich, pompa kriogeniczna zbiornika magazynowego i pompa kriogeniczna wyparna wykorzystują ciekły czynnik chłodniczy do chłodzenia, powierzchnia osłony chłodzącej jest powszechnie używanym ciekłym azotem, a powierzchnia kriogeniczna jest powszechnie używanym ciekłym helem lub gazowym helem do chłodzenia. Ze względu na palność, wybuchowość i wysoką cenę ciekłego wodoru jest nadal rzadko stosowany pomimo wyższej entalpii parowania niż ciekły hel.
Lodówki chłodnicze z kriopompą są powszechnie używane przez Gifford. Typ McMahon (nazywany lodówką GM) i typ Stirling (nazywany lodówką St). W przypadku kriopomp chłodniczych o dużej prędkości pompowania można zastosować chłodziarkę z ciekłym helem o jakości temperatury, a zawór JT można ustawić tak, aby tworzył urządzenie chłodzące z cyrkulacją cieczy, a czasami stosuje się ciekły azot w zbiorniku na ciecz lub maszynie do skraplania azotu schłodzić przegrodę i powierzchnię osłony.
Główna wydajność kriopompy
①Wyższa niż prędkość pompowania, lepsza niż wszystkie inne typy pomp.
②Nie ma ograniczeń co do kształtu, można go zanurzyć w komorze próżniowej lub zamocować na ścianie komory próżniowej za pomocą kołnierza.
③Może zapewnić całkowicie czystą próżnię bez zanieczyszczania systemu próżniowego.
④Można uzyskać stopień podciśnienia o bardzo niskim ciśnieniu, na przykład poniżej 10-12Pa. Co więcej, praca kriopompy jest niezawodna, a gdy prędkość pompowania jest stosunkowo duża, koszt eksploatacji jej inwestycji jest niższy niż w przypadku tradycyjnej pompy próżniowej, a automatyzacja jest łatwa.