Kriopumpy są również szeroko stosowane w dzisiejszym życiu. Wiele osób mogło nie słyszeć o kriopumpach. Kriopumpy to rodzaj pompy próżniowej, która wykorzystuje niskotemperaturowy gaz kondensacyjny powierzchniowy. Zaletą jest to, że moc pompowania jest największa. Dzisiaj rzućmy okiem na pompy kriogeniczne Jak działa pompa.
Zasadą działania kriopumpy jest wykorzystanie gazu do fizycznej adsorpcji na powierzchni o bardzo niskiej temperaturze, aby osiągnąć efekt wyczerpania. Jest to skuteczna i szybka metoda uzyskania czystej próżni.
Kriopump może osiągnąć bardzo wysoką próżnię (10-11Pa) i ma zalety dużej prędkości spalin, braku oleju i nieograniczonego kierunku instalacji.
Na pierwszym etapie zimnego etapu kriopumpu ustawiana jest osłona ekranująca i przegroda, a temperatura jest utrzymywana na poziomie 80K. Wtórny etap chłodzenia został utrzymany na poziomie 15K, a na nim osadzono pokrywę kriogeniczną i adsorbent węgla aktywnego.
Para wodna jest zestalona na tarczy 80K i przegrodzie 80K; azot, tlen i argon są zestalone na pokrywie kriogenicznej 15K; wodór, hel i neon są adsorbowane na adsorbencie wewnątrz pokrywy kriogenicznej 15K. Kriopump może wyczerpać wszystkie gazy, ale jeśli ilość zaadsorbowanego gazu jest zbyt duża, prędkość spalin zostanie zmniejszona. W takim przypadku konieczne jest podgrzanie kriopumpy, uwolnienie zaadsorbowanego gazu i ponowne użycie go.
Funkcje Cryopump
Kriopump to pompa próżniowa, która wykorzystuje powierzchnię o niskiej temperaturze do kondensacji gazu, znana również jako pompa kondensatu. Kriopump może uzyskać czystą próżnię o najwyższej szybkości pompowania i najniższym ciśnieniu końcowym i jest szeroko stosowany w badaniach i produkcji półprzewodników i układów scalonych, a także w badaniach wiązki molekularnej, sprzęcie do powlekania próżniowego, próżniowych instrumentach do analizy powierzchni, implantatorach jonów i urządzeniach do symulacji przestrzeni itp.
Kriopump to pompa próżniowa, która wykorzystuje efekt kondensacji powierzchni chłodzącej o bardzo niskiej temperaturze (≤77K) do usuwania gazu z systemu. Od 1960 roku pompowanie kriogeniczne jest coraz szerzej stosowane w pozyskiwaniu i stosowaniu próżni.
Kriopump to czysta pompa próżniowa. Ponieważ medium kriogeniczne jest tylko czynnikiem powodującym, który chłodzi powierzchnię ssącą pompy i jest przechowywany lub cyrkulowany w zamkniętym pojemniku, nie ma żadnego kontaktu z przestrzenią próżniową. Ta cecha ma kluczowe znaczenie dla niektórych systemów próżniowych, które wymagają czystych, bezolejowych systemów próżniowych.
Kriopumpy mogą osiągać bardzo niskie ciśnienia parcjalne i bardzo wysokie prędkości pompowania dla większości gazów. Gdy kriopump pracuje w ciekłym ośrodku helowym, ma również zalety dużej rzeczywistej wydajności pompowania i nieselektywnego pompowania (z wyjątkiem helu).
Kriopumpy odgrywają istotną rolę w badaniach i produkcji półprzewodników i układów scalonych, badaniach wiązki molekularnej i innych dziedzinach. Jest to czysta pompa próżniowa. Powyższe dotyczy zasady działania kriopumpów.