Niskotemperaturowa pompa do wtrysku ciekłego helu Cryopump i zamkniętego cyklu helium lodówka Cryopump dwa.
Wtryskowa pompa kriogeniczna
Głównie przez ciekły pojemnik z helem, korpus pompy i połączony z częściami wnękowymi ciekłego azotu z przegrody. Aby zmniejszyć zużycie ciekłego helu, w międzyczasie ścianka zewnętrzna zbiornika helu ma podwójną ściankę izolacyjną i próżnię. Gdy pompa jest pompowana do ciśnienia przed PA w ciekły azot i kondensacja helu w chłodnej płycie pracuje na 4,2K. Ciśnienie cząstkowe wodoru helowego do liczby PA jest wstępnie pompowane, więc pompa może uzyskać maksymalne ciśnienie poniżej pa. Jeśli dekompresja podciśnienia w pojemniku z helem do 6650 kPa, temperatura ciekłego helu może zostać zmniejszona do 2,3 K, może uzyskać niższe ciśnienie graniczne.
Pompa kriogeniczna do chłodzonego helem gazu w obiegu zamkniętym
Był to nowy typ pompy kriogenicznej, która pojawiła się w latach 70-tych. Ta pompa nie zużywa helu, jest łatwa w obsłudze i łatwa w utrzymaniu i jest szeroko stosowana. Czynnikiem chłodniczym w lodówce jest gazowy hel, pierwsza klasa temperatury zimnej płyty to 50-100K, typowe zastosowanie to 65K, które służy do skraplania pary wodnej i innego gazu, a temperatura dwuetapowej zimnej płyty jest 10 ~ 20K, który służy do kondensacji azotu, tlenu i argonu. Wewnętrzna powierzchnia dwustopniowej zimnej płyty pokryta jest węglem aktywnym. Węgiel aktywny ma wysoką zdolność adsorpcji dla helu, neonu i wodoru w niskiej temperaturze. Zimna płyta wykonana jest z miedzi beztlenowej, a powierzchnia jest polerowana do stopnia lustrzanej powierzchni, tak aby zmniejszyć współczynnik promieniowania. Ciśnienie graniczne pompy to PA, zakres ciśnienia roboczego to PPA, a ciśnienie przed pompowaniem wynosi 1 PPA. Szybkość produkcji produktu osiągnęła 60000 litrów na sekundę. Ponadto, zgodnie z charakterystyką procesu, płyta chłodząca powietrze wywiewne może być umieszczona w pompowanym pojemniku, a szybkość pompowania może osiągnąć 106 litrów na sekundę.
Dodaj: 2589 # Nantaihu Road, Wuxing, Huzhou, Zhejiang
Kontakt: Fei Oslo
Tel .: + 86-572-2282208
Mob: +8615957207620
Faks: + 86-572-2576372
E-mail: oslo@cryo-pump.com